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上銀單軸直線電機定位平臺：標準
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SSA單軸定位平臺最大速度5000mm/s
LMC單軸定位平臺空載最大加速度50m/s2
LMSA單軸定位平臺 空載最大加速度30m/s2
NPS單軸定位平臺奈米級伺服跳動  

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